部署名 |
研究部、MEMS事業室、FC事業室及び各事業部内開発関連部門 |
責任者 |
常務取締役 八木 良蔵 |
研究員数 |
70 |
主な研究開発内容 |
航空宇宙機器関連機器の研究、熱制御関連機器の研究、燃料電池の研究、MEMS応用製品の研究次世代オゾン発生装置の研究、次世代半導体製造装置の研究 |
研究の特色、特徴技術 |
グローバルニッチトップを目指し、差別性の高い独自の新規技術、既存技術からの派生技術の研究微細加工技術、高濃度オゾンを利用した環境ソリューション技術、熱・電気エネルギーの高度利用技術 |
主要研究設備、計測機器 |
振動試験機、各種環境・構造試験装置、各種油空圧試験装置、ダイナモ試験機、EMI試験機SEM/FE-SEM、3次元表面形状測定装置、スパークプラズマ焼結装置各種分析装置(原子吸光光度計、イオンクロマト、ガスクロマト、キャピラリ分光分析装置、分光光度計蛍光X線分析計) |